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粗糙度輪廓度測(cè)量?jī)x

  • 名稱:粗糙度輪廓度測(cè)量?jī)x
  • 型號(hào):SURFCOM NEX 031DX-13
  • 品牌:
  • 編號(hào):

>>>技術(shù)描述>>>

a. 輪廓傳感器

A. 指示精度:±(1.5+|2H|/100)μm;

B. 測(cè)量范圍:60mm;

C. 分辨率:0.04μm(全量程);

D. 測(cè)力:10mN~30mN;

b. 粗糙度傳感器

A. 量程:6.4~1000μm;

B. 分辨率:0.1~20nm(隨量程變化);

C. 測(cè)力:0.75mN;

c. 驅(qū)動(dòng)部:

A. 指示精度:±(1.0+L/100)μm L=測(cè)量長(zhǎng)度(mm);

B. 直線度:

? 粗糙度時(shí):(0.05+L/1000)μm L=測(cè)量長(zhǎng)度(mm);

? 輪廓:1.0um/100mm;

C. 分辨率: 0.016μm(全量程);

D. 速度:

? 0.03~60mm/s(移動(dòng)時(shí));

? 0.03~20mm/s(測(cè)量時(shí));

d. 立柱

A. 移動(dòng)范圍:450mm;

B. 立柱移動(dòng)速度:10mm/s;

e. 電源要求:

A. 電壓:220V±10%;

B. 接地:必須接地,小于10V;

C. 頻率:50Hz;

D. 功率:670W;

f. 氣源要求:(除震臺(tái)用)

A. 供給壓力:0.6-0.8MPa;

B. 使用壓力: 0.4MPa;

g. 使用環(huán)境:

A. 動(dòng)作保證溫度:10~30℃;

B. 精度保證溫度:20±5℃;

C. 保管:5~40℃;

D. 濕度:40~60%以下,不可結(jié)露。


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